Obálkyknih.cz - Jihočeská vědecká knihovna v Českých Budějovicích

oprava existující anotace, přidání nové anotace

Název:		CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet: Degradation Behavior and Damage Mechanisms (Microtechnology and MEMS)
Autor:
Rok vydání:		2005
Identifikátory:		9783540226802

Upravte stávající anotaci nebo vložte anotaci novou.
Anotace:	In order to facilitate the inspection of deep sub-micron features in integrated circuits, a new generation of semiconductor inspection systems is being pushed to new limits to image at ever shorter wavelengths - using deep-UV (DUV) sensitive cameras. However, conventional CCD cameras have very poor responsivity in the DUV and their stability upon prolonged DUV exposure is a relevant concern. This book investigates the causes of CCD degradation and the damage mechanisms due to DUV exposure, as well as reporting new results for device performance at these wavelengths.
	Souhlasím s využitím anotace pro potřeby projektu obálkyknih.cz. Obsah neporušuje autorská práva.(povinné)