Obálkyknih.cz - Jihočeská vědecká knihovna v Českých Budějovicích

oprava existující anotace, přidání nové anotace

Název:		Handbook of Sputter Deposition Technology : Principles, Technology and Applications
Autor:		Wasa, Kiyotaka
Rok vydání:		1992
Identifikátory:		9780815512806

Upravte stávající anotaci nebo vložte anotaci novou.
Anotace:	A concise, comprehensive overview of sputter deposition technologyÃ¹a key technology for materials research in the next decade. Cathode sputtering is widely used in the microelectronics industry for silicon integrated circuit production and for metallurgical coatings. High temperature superconductors can be synthesized with sputtering under non-equilibrium conditions. Diamond films and ferroelectric materials are other applications.
	Souhlasím s využitím anotace pro potřeby projektu obálkyknih.cz. Obsah neporušuje autorská práva.(povinné)